Технологія магнетронного розпилення (PVD) є однією з ключових технологій для отримання тонкоплівкових матеріалів. Титанові мішені високої чистоти- для напилення є ключовими витратними матеріалами в процесі магнетронного напилення та мають широкі перспективи застосування на ринку. Будучи матеріалом для покриття з високою{3}}доданою вартістю-, титанові мішені мають суворі вимоги щодо хімічної чистоти, мікроструктури та продуктивності, а також вони є високотехнічними та складними в обробці.
Матеріали титанових мішеней з магнетронним напиленням в основному використовуються в електронній та інформаційній промисловості, наприклад, інтегральні схеми, плоскі дисплеї та поля декоративного покриття в оздобленні дому та автомобільній промисловості, наприклад, декоративне покриття скла та маточини колеса, як показано на малюнку 1. Вимоги до матеріалів титанових мішеней у різних галузях промисловості також сильно відрізняються, головним чином включаючи чистоту, мікроструктуру, продуктивність зварювання, і точність розмірів. Чистота титанових цільових матеріалів для інтегральних схем в основному перевищує 99,995%, і в даний час вони в основному покладаються на імпорт. На ринку титанових мішеней, що використовуються в плоских дисплеях, ринок рідкокристалічних дисплеїв (РК) є найбільшим, на нього припадає понад 90%. LCD вважається найперспективнішим дисплеєм з плоскою панеллю на даний момент. Його поява значно розширила діапазон застосування дисплеїв, починаючи від дисплеїв ноутбуків, моніторів настільних комп’ютерів, РК-телевізорів високої-роздільності до мобільного зв’язку. Різноманітні нові рідкокристалічні продукти впливають на звички життя людей і сприяють швидкому розвитку світової інформаційної індустрії.
Чистота матеріалів титанових мішеней має значний вплив на продуктивність напилених плівок. Чим вища чистота, тим менше частинок домішок у напиленій титановій плівці, що призводить до кращих характеристик плівки, включаючи кращу стійкість до корозії та електричні та оптичні властивості. Як правило, титанові мішені мають полікристалічну структуру з розміром зерен від мікрометрів до міліметрів. Дрібно{3}}кристалічні мішені мають вищу швидкість розпилення, ніж крупнозернисті. Для мішеней з однаковими розмірами зерен на поверхні розпилення розподіл товщини напиленої осадженої плівки також більш рівномірний.
